Modul Wafer Front-End 300mm

BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Model: ASYST Spartan EFEM
Tip: Sortator
Stare: Folosit

Date tehnice:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Informații generale:
Modul frontal EFEM de 300 mm cu 3 porturi de încărcare, mini-medii de cameră curată și robot integrat pentru transfer de waferi

Acest echipament este un modul frontal pentru echipamente (EFEM) din seria ASYST Spartan, proiectat pentru manipularea complet automatizată a waferilor de siliciu de 300 mm în producția de semiconductori.
Dispune de trei porturi de încărcare, un mini-medii curat cu filtre de aer ULPA, iluminare internă, sisteme extinse de control al siguranței, precum și toate interfețele necesare pentru integrarea în linie.
Iiodpex I Ax Ssfx Aamsk
În plus, este echipat cu un robot complet integrat pentru transferul waferilor, care preia waferii din porturile de încărcare FOUP/casete, îi separă și îi transferă cu precizie către modulele de procesare următoare.

An fabricație: 27.12.2010
Include CD cu manuale de operare, service și instalare (9701-3060-01 Rev G)

Anunțul publicitar a fost tradus automat și ar putea apărea unele erori de traducere.